檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
兩種方法:
用涂色法檢驗(yàn)
0級(jí)1級(jí)平板平臺(tái)在每邊為25㎜平方的范圍內(nèi)不少于25點(diǎn)。 3級(jí)平板平臺(tái)在每邊為25㎜平方的范圍內(nèi)不少于12點(diǎn)。
平面度檢驗(yàn)
平面度計(jì)算公式:(依JB/T7975-1999標(biāo)準(zhǔn))
000級(jí):1×(1+d/1000)μm
0 0級(jí):2×(1+d/1000)μm
0級(jí):4×(1+d/1000)μ
1級(jí):8×(1+d/1000)μm
2級(jí):16×(1+d/1000)μm
3級(jí):40×(1+d/1000)μm
(d為對(duì)角線mm)(測(cè)量溫度在20±2℃)